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肯富來真空泵污染的形成及其影響
肯富來真空泵裝置由許多不同的零件組成，它們都是經過各種機械加工完成的，如車、銑、刨、磨、銼、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發，影響真空設備的極限真空。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環境中，這些氣體也要被釋放出來。構成了限制真空設備極限真空的因素。為此，零件組裝前必須清除掉污染物。
真空裝置使用過程中，零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關。如真空干燥系統，經常使用后會受到蒸發出來的物質的污染；真空鍍膜機的內壁會被蒸鍍材料污染；
離子束刻蝕設備的內壁會被工件濺射的濺散物污染；真空中電子槍的燈絲，由于高溫蒸發會使其附近表面形成金屬膜；規管燈絲在高溫下蒸發，使陶瓷絕緣子上形成薄膜，破壞絕緣強度，影響測量的準確性。真空系統中的機械泵油和擴散泵油更是污染源，設備長期工作后會使設備內部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設備的性能，應該注意隨時清除。
超高真空系統中，清潔處理更為重要。良好的清潔處理工藝，可以使材料放氣率降低幾個數量級。如不銹鋼長期暴露于大氣后，不進行任何處理，抽氣1h后的出氣率為2.7x10-1Pa•L/(s•m2)，清除油污后抽氣4h，可降到1.3x10-3Pa•L/(s•m2)。在250℃下烘烤15h，出氣率進一步降到1.3x10-6Pa•L/(s•m2)。好的清潔處理工藝，可以提高設備的極限真空。
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