真空泵

工作范圍(托)

真空泵

工作范圍(托)

旋片真空泵

760~5×10^-4

往復真空泵

760~10^-2

滑閥真空泵

760~5×10^-3　　

吸附泵

760~10^-4

油增壓泵

10^-1~10^-4

濺射離子泵

10^-4~10^-10

羅茨真空泵

10^-1~10^-4　　

鈦升華泵

10^-3~10^-10

油擴散泵

10^-3~5×10^-7　　

分子泵

10^-3~10^-10

水環真空泵

760~25

低溫泵

10^-3~10^-10